5研发新一代关键的微电子专用设备，如193纳米准分子激光投影光刻机等，为占领未来微电子技术的制高点做好准备6建立国家级微电子研究开发中心，支持高校和研究所进行创新性研究，形成一支稳定有效的研发力量，支持产业发展7实施“微电子人才培养和引进工程”，吸引国外优秀人才，扭转人才外流的；根据芯思想研究院调研数据显示，...